尼康BW系列白光干涉儀

在2017年被(bei)日本(ben)光(guang)學協會授予光(guang)設計特(te)別大(da)獎，獲獎原(yuan)因是(shi)其在白光(guang)干涉的分(fen)辨率有飛躍(yue)性的提高，控制噪音達到(dao)很高的(de)水平(ping)，之前難以測量的(de)超平(ping)滑表面的(de)性能(neng)特征，實(shi)現了定量測定。

可實(shi)現精確的亞納米表面(mian)輪(lun)廓非接觸式測量。

尼康*的掃描式光學干涉測量(liang)技術實現了1皮(pi)米(mi)(pm)的高度分辨率。尼康提供(gong)多(duo)種光學顯微(wei)鏡作(zuo)為測量系統(tong)，以適(shi)應廣泛的測量應用。

測量精度&重復性

尼康BW系列產品具有很高的高度解析能力和重復測量精度，美國VLSI公司生產的8.9nm臺階是世界上目前被認證的小高度標準樣，其擴展不確定度為0.6nm，而尼康BW白光干涉儀經過十次測量結果全部在擴展不確定度范圍內，且標準偏差為0.03nm。

測定穩定性

白光干涉(she)儀光源的(de)中心波長是隨著時間(jian)不斷變化的(de)，尼康的(de)BW系列白光干涉(she)儀，由于算(suan)法與波長無關，測定(ding)的(de)結果(guo)在任何時間(jian)點(dian)都可(ke)以保(bao)證*性(xing)，保(bao)證了用戶測量結果(guo)具備很高(gao)的(de)重(zhong)復性(xing)和再現性(xing)。

高度測量*性

與傳統的利用光學景深進行三維重構的超景深顯微鏡和將景深減小更精細還原三維表面的共聚焦相比，BW系列白光干涉儀每個倍率下高度分辨率都是1pm，可以實現每個倍率測量結果的高度統一，而共聚焦或者超景深在低倍的鏡頭測量，由于其分辨率的下降，導致測量精度變差。而且尼康BW白光干涉儀分辨率遠高于共聚焦高倍物鏡。

參(can)考下圖SiC晶圓(yuan)上的(de)特征(zheng)高(gao)度，采(cai)用不同倍率的(de)尼(ni)康物鏡測(ce)量結果(guo)是高(gao)度*的(de)。（低(di)倍測(ce)量結果(guo)的(de)偏差是由于(yu)像素點(dian)大而特征(zheng)點(dian)邊(bian)界小導致）

應用：碳化硅晶圓劃痕檢測

在高度(du)拋光的碳化硅(gui)晶圓上由于細小劃(hua)痕引起的粗糙度(du)偏大，之前采用原子(zi)力顯微鏡(jing)檢測可以看(kan)到劃(hua)痕，

而(er)采(cai)用尼康BW-D系列(lie)高速(su)機型使用100倍(bei)物鏡掃描25張圖像只需(xu)要(yao)1分鐘(zhong)，不但可以看到劃痕(hen)，而(er)且可以測(ce)定劃痕(hen)深度及其對表面(mian)粗糙度評定的影(ying)響(xiang)。

應用：碳化硅晶圓粗糙度測量

超(chao)光滑(hua)表(biao)面粗(cu)糙度測量(liang)，可以測量(liang)面粗(cu)糙度小(xiao)于0.1nm表(biao)面。

應用：光學平晶

應用：滾珠

通(tong)過澤尼克(ke)多項式擬合測量滾珠的外型尺寸(cun)和粗糙度。

應用：玻璃基底鉻鍍層

應用：石墨烯

石墨(mo)烯的結構是(shi)(shi)亞納(na)米級(ji)，石墨(mo)烯的 “片層”和“褶(zhe)皺”結構高度都是(shi)(shi)亞納(na)米級(ji)，傳統的三維圖像都是(shi)(shi)采用原(yuan)子(zi)力顯微鏡進行解析，尼康BW可以提供更快速更大視野(ye)的高縱向分辨(bian)力的圖像解析。

應用：金剛石薄膜

這類材料表(biao)(biao)面(mian)呈現各個不同的角度，圖像獲取難度大(da)，而(er)尼康BW白光干涉系統(tong)可(ke)以(yi)輕(qing)松(song)獲取表(biao)(biao)面(mian)真實三(san)維信息，得到(dao)很不錯的結果。

應用：圖像傳感器

微型圖像(xiang)(xiang)傳感器(qi)，傳感器(qi)凸起部分(fen)只有幾十納(na)米，對(dui)于共聚焦100倍物鏡(jing)來說解析(xi)已(yi)經(jing)比(bi)較(jiao)吃力，尼康BW可以呈現(xian)非常高(gao)對(dui)比(bi)度(du)的高(gao)度(du)圖像(xiang)(xiang)，無(wu)論圖像(xiang)(xiang)畫質(zhi)還是(shi)測(ce)量(liang)準確度(du)，都(dou)更(geng)勝*。

應用：陶瓷基片

陶瓷基(ji)片(pian)因為表面情(qing)況復雜，傳統(tong)白光干涉儀測(ce)量點缺失(shi)嚴重(zhong)，尼康BW具有更好的算法處(chu)理，配(pei)合尼康優異(yi)的光學系(xi)統(tong)，